操作分析表

機電碩二 蔡純芳 699730082

作業名稱：旋轉塗佈製程

單位作業名稱：黃光微影

作業類別：個人

使用器具：1.氣槍  2.熱電板  3.旋轉塗佈機  4.去離子水  5.晶圓夾  6.光阻液

防護器具：1.毒氣口罩  2.橡膠手套  3.防護衣  4.防護鞋  5.護目鏡

工作要素	基本動作(順序)	使用器具與工具	防護具	作業人員	要點
準備	1.清洗	4.5.	1.2.3.4.5.	A	1. 保持去離子水流動順暢 2. 沖洗時輔以搖晃，帶動雜質離去 3. 水量不宜太強，避免晶圓結構損壞
	2.吹乾	1.5.	1.2.3.4.5.	A	1. 以晶圓夾固定晶圓 2. 氣槍吹力不可太強，避免結構損壞 3. 由內向外吹，避免水漬回流
	3.去水烘烤	2.5.	1.2.3.4.5.	A	1. 將熱電板溫度調整至105度 2. 晶圓放至在熱點板中央，避免加熱不均 3. 烘烤完靜待晶圓繞量散失、冷卻
旋塗	4.對準	3.5.	1.2.3.4.5.	A	1. 以晶圓夾調整晶圓位置 2. 將晶圓確實置中，避免旋塗不均
	5.上光阻	3.5.	1.2.3.4.5.6.	A	1. 將光阻以順流方式，滴漏約10元硬幣大小於晶圓中央 2. 避免光阻中斷滴漏，產生氣泡
	6.旋轉塗佈	3.	1.2.3.4.5.	A	1. 調整三段塗佈轉速與時間 2. 蓋上透明蓋子，避免光阻濺出 3. 放置抽氣罩於塗佈機上方，吸收有機光阻氣體